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絕對式光柵尺的關鍵性能指標有哪些?

更新時間:2025-05-06   點擊次數:405次
  絕對式光柵尺的關鍵性能指標包括準確度、重復精度、分辨力、運動速度以及最大測量長度。以下是這些關鍵性能指標的詳細介紹:
  
  1、準確度:準確度是衡量光柵尺測量結果與真實值之間接近程度的重要指標。高精度的光柵尺能夠達到±3μm的準確度,這意味著在測量過程中,其顯示值與真實值之間的偏差非常小。
  
  2、重復精度:重復精度是指在相同條件下,對同一位置進行多次測量時,所得結果的一致性。優秀的光柵尺能夠實現1μm以內的重復精度,這保證了測量結果的穩定性和可靠性。
  

絕對式光柵尺

 

  3、分辨力:分辨力是指數顯折光儀能夠區分的最小測量單位。高分辨力的絕對式光柵尺能夠提供更精細的測量結果,最高可達2.5nm的分辨力,這對于需要高精度測量的應用場合至關重要。
  
  4、運動速度:運動速度是指光柵尺在測量過程中能夠支持的最大移動速度。某些高性能的光柵尺能夠支持大于180m/min的運動速度,這使得它們能夠適應高速加工和測量的需求。
  
  5、最大測量長度:最大測量長度是指光柵尺能夠測量的最大距離范圍。不同的應用場景可能需要不同測量長度的光柵尺,因此這一指標根據具體需求而定。例如,某些型號的光柵尺的最大測量長度可達4240mm。
  
  絕對式光柵尺的關鍵性能指標包括準確度、重復精度、分辨力、運動速度以及最大測量長度等。這些指標共同決定了光柵尺的性能和可靠性。在選擇和使用時,需要根據具體應用場景和需求來綜合考慮這些性能指標。
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